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ISO 9001:2008国际标准认证
公司研究开发的高分辨率多重扫描原子力探针台
适用工艺结构：
250纳米到32纳米
可配置探头数：
1个到6个
探测针接触方式：
力反馈
探测针操纵方式
：自动控制， 鼠标定位
定位分辨率
：5纳米以下
重复测量误差：
1毫伏以下, 100飞安培以下
测量精确度：
500飞安培
初始探针电阻值：
平均40欧姆
系统无故障时间：
大于95%
平均无故障时间：
1000小时
安装和调试：
3天
同步故障定位：
皮安培电流成像（PicoCurrent）， 扫描电容显微镜 (SCM)
故障确认
：IV 曲线
CAD智能导航功能
