MP2探测头利用激光反馈控制原理进行扫描和探测,使探针磨损度达到最小。更换一次探针就可数天不间断地运行。 配用本公司自制的钨金属材料探针,MP2探测头能够连续数小时扫描成像,其总图像漂移度则少于100纳米。这保证了足够长又稳定的仪器使用时间,从而使用户可以安心的支配时间来获取最难检测到的数据。
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钨金属材料,尖端半径 300 到45 纳米。
高倍率的光学显微镜。用于对测试的半导体芯片和探测头进行成像,借以来辅助定位。
本公司的专利产品--纳米精度智能导航台使用户可以进行精准度达50纳米的自动芯片定位,并配备CAD智能导航功能。
电压控制芯片台安装在纳米精度智能导航台的上方。通过芯片台用户能够自由的使芯片接地或者加偏置电压,从而增加芯片测量的机动性和失效点的识别性。
在制造业界如汽车生产业里,为了可以精确的测量和评估外在温度与长时间运作对产品安全性能的影响,对电子零件样品进行有效的加温与恒温是必须的。应这个需求,我们研发制作了高性能恒温热样品台。恒温热样品台可以直接对在样品台上所放置的样品进行加温,恒温,从而达到在高温环境里对样品进行故障测量的需求。恒温热样品台内外兼容多重扫描原子力探针仪器,使对样品的加温到测量过程一气呵成。
技术指标 现有探针台均可配备高性能恒温热样品台。样品台可加温并保温在120°C,保温性可稳定在+/- 0.05°C。样品台最大可以放置20x20mm的样品。
控制系统的每个元件,并轻松实现增加配件或者升级系统的目标。例如,增加额外的探测头会像在控制主机上添加两个线路板那样简单。
AEK隔音罩彻底杜绝了噪音和环境的变化对MP2探测头的影响,从而优化系统表现。。