ISO 9001:2008国际标准认证

公司研究开发的高分辨率多重扫描原子力探针台

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失效分析的五大成功基础

Multiprobe公司对分析工程师们提出的重点所进行的答复

1. 确定失效区域: sample prep image

使用明确,有效的测量手法来探测与发现局部失效电路

为了使失效分析工程师们彼此可以更好的交流与互动,Multiprobe公司开展了一系列的在线研讨活动。对于活动的时间表和内容,请参照我们的网站。

2. 样品芯片的处理

对希望测量的芯片区域进行有效的样品表面处理。进而在不破坏微电子电路的情况下用探针对样品做电子测量。

Multiprobe公司有着一流的样品表面处理技术。我们保证在不改变样品电子性质的基础上把样品处理到任何一适合进行探针测量的样品层。

3. 确认失效区域在样品上的位置

在不破坏样品的情况下,可以快速移动样品至失效区域。

Multiprobe公司研制发明的纳米精度智能导航台可以迅速移动样品到要测量的区域。从而不需要再在样品上用FIB或激光来做记号。研究表示,FIB记号和激光记号都会影响到样品电路的电子数据。

4. 电子性质测量

测量数据应该反映样品电路的实际电子性质,而不是被探针台所影响后的数据。

研究数据表示,Multiprobe公司的多重扫描原子力探针仪器是唯一的不会影响样品本身电子性质,并可精确测量微结构电子器件的探针台。

5. 测量数据分析

透彻分析与理解从样品上得到的电子数据,进而提出下一步的测量规划。

Multiprobe公司的多重扫描原子力探针台所测量到的数据是一目了然的。大大节约了分析时间与经费。