|
|
|
| 
| |
| 適用のデバイス．サイズ：250nm-32nm |
| 多極化のヘッドオプション：１個～６個 |
| タッチダウン．モッド：フォース．フィードバック半導体レーサー型、光てこ方式 |
| プローブ操作：自動式、マウス操縦 |
| 位置決め解像度：５nm以下 |
| 測定の反復性：1mV以下、100fA以下 |
| 測定の精度：500fA以下 |
| プローブの抵抗力：100Ω以下、平均40 Ω |
| システム稼働時間：95%以上 |
| ＭＴＢＦ：１０００時間 |
| インストールとテスト：３日 |
| 多極化のイメージ．モッド：ピコカレント、走査型容量顕微鏡 |
| 故障解析方式：IVカーブ |
| ソフトウェアインテグレーション: CADナビゲーション可能 |
|
 |
|
