半導体レーザー型フィードバックを利用して、1個のプローブ一度目何日にイメージングやプロビング可能。 自社で作ったのタングステンニードルを使って、MP2ヘッドは何時間中イメージングができて、ドリフトは100nm以下。どうな難しい故障解析も一度にできて可能。
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プローブは超細い(300nm~45nm)タングステンニードルで、ライフタイム長いし、半導体ジャンクションが無いし、普通のシリコン針より100倍硬いです。 出荷前に針のレーザー反射率を三回にと抵抗力を二回にテスト。抵抗力は100Ω以下保証して。
サンプルとプローブはセットアップを使用しての高倍率顕微鏡。
ナノ精度ナビゲーションステージ。精度は50nmまで、CADナビゲーションソフトウェアと互換性がある.
スナップ.ステージのサンプルチャック。チャックで置いてのサンプルは自由に接地とバイアス可能。
サーマルチャックは、半導体デバイスの高温測定値のために、設計と作成する。一般的に自動車安全性産業で使える。
製品特質 オリジナルのサンプルステージは、オプションのガード.サーマルチャックと互換性がある。チャックは、最大20x20mmサンプルを支える。最高プロビング可能の温度は120°C、安定性は+/- 0.05°C。
システムの重要なコンポーネントを制御し、新しいプロダクトを加えるとシステムをバージョンアップすること簡単。例えば、ヘッドを追加されてと2つのサーキットボードを加えること同じくらい簡単にする。
AEK アコウスティックフードは環境ノイズと震動を隔離して、MP2ヘッドとシステムのパフォーマンスを最適化する。